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            主動隔振平臺

            簡要描述:STACIS® III是一種靈活的高級主動隔振平臺系統。STACIS采用先進的慣性振動傳感器、先進的控制算法和壓電致動器,通過連續測量地面活動,然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動,以實時消除振動。

            • 產品型號:STACIS III
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2021-06-11
            • 訪  問  量:7488
            詳細介紹

            主動隔振平臺

            概述

            STACIS? III是一種靈活的高級主動隔振系統。STACIS采用先進的慣性振動傳感器、先進的控制算法和壓電致動器,通過連續測量地面活動,然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動,以實時消除振動。

            STACIS初設計用于隔離先進半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備,現已成為嘈雜環境(包括但不限于半導體工廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米制造設施和材料研究中心)中敏感儀器的行業標準解決方案。

            STACIS III包括一個全新的改進型數字控制器DC-2020。這款全新的高級控制系統在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網以及USB串行端口,為用戶提供了現代化且易于使用的圖形用戶界面(GUI)。STACIS在已擁有數百個成功的安裝案例,是理想的隔振系統,適用于對振動*為敏感的儀器。

             

            主動隔振平臺系統STACIS III的優勢

            STACIS比空氣隔振器硬數百倍,沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟”懸架,與主動空氣系統不同,STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方,使兩個系統都在*佳狀態下運行。

            獨特的串行設計和專有的高力壓電技術,可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的主動隔振性能。

             

            主動隔振光學平臺系統STACIS III特征

            ●改進型DC-2020數字控制器,提供易于使用的圖形用戶界面

            ●隔振開始于0.6赫茲,1Hz時達到40%至70%的隔離率

            ●頻率2赫茲和更高時,垂直和水平隔振率大于90%

            ●降低基礎設施的要求和建設成本,即使有較大外界震動設備也可正常運行

            ●有效隔振范圍,0.6Hz到150Hz

            ●獲得眾多用戶的廣泛認可和肯定

            ●6向自由度硬安裝設計,無需空氣懸架

            ●強大的控制系統無需定期重新校準

            ●point-of-use設計方案,與客戶現有隔振系統無縫兼容

            ●隨著外部環境改變,系統自動調節以適應不同外部震動情形

            ●TMC的STACIS?技術使用壓電執行器主動消振

            ●數字控制器與基于PC的圖形用戶界面(GUI)

            ●提高客戶產品產量、質量、成品率。

            ●符合RoHS標準

            ●寬的主動隔振帶寬,低頻隔振效果

            ●亞赫茲的主動震動消除,主要在0.6-6Hz頻段內的隔振

            ●可堆疊式設計

            ●主動硬式安裝結構、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連

            ●被動彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負載諧振,需要的調諧非常少,甚至無需調諧

            ●由于阻抗不匹配,可兼容儀器內部隔離器

            ●負載可達2000kg

             

            性能

            使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模擬振動來測試4500磅(2045千克)有效載荷

             

            規格

            性能規格

            主動自由度

            6

            主動帶寬

            0.6 Hz - 150 Hz

            被動固有頻率

            18 Hz垂直和水平

            有效的主動共振頻率

            0.5 Hz

            1 Hz時的隔振

            40% - 70%

            ≥2 Hz時的隔振

            ≥90%

            10磅(4.5千克)步進輸入后的穩定時間(減少10:1)

            0.3秒

            內部噪音

            <0.1 nm RMSd>

            每個隔振器的工作負載范圍

            低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)

            中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)

            高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)

            剛度(1000磅 / 454千克質量、中等承重能力隔振器)

            40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)

            從距離隔振器大4英寸(102毫米)處發射的磁場

            <0.02 μG broadband RMSd>

             

            隔振器設計、尺寸、環境和效用要求

            環境和安全

            符合CE和RoHS標準

            主動隔振元件

            小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷

            被動隔振元件

            單個硬質各向同性彈性體(無需壓縮空氣源)

            振動傳感器元件

            向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測量隔振器下方的地面振動,并提供與振動運動速度成正比的電壓

            主動反饋控制回路

            在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動

            隔振器尺寸(寬 x 深 x 高)

            11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm

            隔振器重量

            75磅(34千克)

            工作溫度

            50° - 90°F

            10° - 32°C

            儲存溫度

            -40° - 130°F

            -40° - 55°C

            濕度

            30 - 60%

            系統電源要求

            100、120、230、240 VAC

            50/60 Hz AC; <600 W

            符合CE標準

            地面位移

            <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>

            每個系統的隔振器數量

            至少3個

            可選附件

            層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩

             

            DC-2020控制器規格

            尺寸(寬 x 深 x 高)

            19 x 8.5 x 1.75英寸

            483 x 216 x 45 mm

            重量

            6.3磅(2.9千克)

            處理器

            150/75 MHz雙核

            采樣率

            10 kHz

            模擬輸出

            16個通道

            模擬輸入

            16個通道

            狀態燈

            單個LED

            前面板端口

            1個串行USB 2.0

            1個串行Micro-USB

            1個以太網RJ-45

            2個BNC

            后面板端口

            1個串行USB 2.0

            1個以太網RJ-45

            1個RS-232 DB-9傳統串行,用于傳統的STACIS 2100隔振器

            用戶界面

            前面板液晶顯示屏

            超級終端上的字符菜單

            適用于Microsoft Windows的擴展GUI

            嵌入式以太網GUI

             

            STACIS用戶及應用領域

            1、微電子、半導體

            ●晶片檢測

            ●顯微光刻技術

            ●掩膜校準

            2、科學研究、納米技術

            ●SEM、TEM

            ●STEM、SPM

            3、激光臺

            ●生命科學、藥物研發

            4、工業應用

            ●精密加工

             

            為什么要選擇主動系統?

            ●從<1Hz開始強烈消除地面震動,氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振

            ●提高質量、生產量

            ●更加細小特色的成像能力

            ●前沿研究

            ●比氣動平臺更穩定

            ●滿足SEM標準地點安裝參數的*解決方案

            ●使得新實驗室及研究設備的工程造價更低

             

            主動系統為何選擇STACIS

            ●正中了科研者的的心聲,提供了盡可能低的無震環境。

            ●強勁的低頻隔振系統。

            ●目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求,其需要的震動參數需要主動隔振系統才能滿足。

            ●STACIS*發明于1990s,經TMC進一步發展,開發和安裝了數以千計的主動隔振系統,這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。

             

            STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍

            穩定時間作為對擾動的響應,由于獨特的串聯式設計,而大大縮短,理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。

             

            如下優勢在業內都是的

            ●STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

            ●6個自由度的主動震動消除,在1Hz時隔振8-10dB 

            ●從2-3Hz時,隔振可達90% (20dB) 

             

            專業的環境調查

            1、安裝前后的環境調查,包括震動、磁場、聲波

            2、安裝后可提供環境系統體系認證

            ●完善的環境調查服務

            ●開具專業環境報告

            ●提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案

            ●TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案 

            ●40多年的行業經驗

             

            應用照片

             


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